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AERA在數字MFC可靠性和性能方面享有很高的聲譽，擁有超過10萬個數字MFC單元。應用在各種生產工藝中包括CVD、PVD、擴散和蝕刻。經過AERA數字質量流量控制器(MFCS)和質量流量計(MFMs)將改良您的過程，提供卓越靈活性、提高產量，提高生產率，降低成本。用AERA獨有的先進的傳感器和閥門技術，業內廣泛采用的優秀部件和高速響應的數字電路各?？梢蕴峁┓浅＞_的氣流控制和測量。具有卓越的可靠性和卓越的響應性、準確性和重復性。多氣體、多量程功能的應用充分結合了客戶低成本…
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