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電容薄膜真空計的校準注意事項
發布時間:2022-05-11        瀏覽次數:98        返回列表
 直空計按測量性質可分為絕對直空計和相對直空計。所謂絕對直空計就是通過測量物理量本身確定壓力的一種直空計,例如U型壓
力計、壓縮式真空計就是絕對真空計。通過測量與壓力有關的物理量并與絕對真空計比較來確定壓力的真空計稱為相對真空計。
我們標準的電離直空計,電容蒲膜直空計,執傳導直空計都是相對直空計,電離直空計電離規管的結構為一個圓筒型三極管,它看
三個電極:陰極F發射電子;柵極A加速電子,收集極C收集離子。一般陰極加零電位,柵極加正電位,收集極加負電位。它的優點主要是能夠測量氣體與蒸氣的全壓強;反應迅速,可連續讀數和遠距離控制;量程寬線性好測量精度較高。缺點主要是在壓強高于10-1Pa時容易氧化燈絲一日系統突然暴露大氣會燒壞規管;玻殼、電極的放氣導致測量的誤差。校準電離直空計時,應注意以下六點
(1)一般情況下,規管和系統連接時,先將未開封的規管和測量電路連接到一起試一下,檢查規管是否正常,然后再接到系統
(2)在校準的過程中,如果出現故障在原因不明的情況下,拿一支未開封的規管試一下,判斷是規管的問題,還是電路的問題。如果換上
未開封的規管一切正常說明原規管有問題:如果換上未開封的規管仍然不正常說明電路有問題這樣就縮小了故障的范圍。
(3)規管安裝時應豎直安裝,否則在加熱除氣,烘烤時柵極和陰極產生變形,相對位置變化,將會嚴重影響測量精度。
(4)在開燈絲前,判斷被測直空系統中的直空度確信小于10-1Pa時,才能開燈絲,否則直空度太低導致規管陰極氧化而燒殷(5)在讀數之前,應先調整好發射電流、零點及滿度。具體步驟是:發射電流一零點-滿度--發射電流。(6)電離直空計只需要加電預熱10分鐘就可以校準了。

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